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ASML荷兰有限公司获得丈量光刻工艺的参数的办法专利
金融界2025年1月11日音讯，国家知识产权局信息数据显现，ASML荷兰有限公司获得一项名为“丈量光刻工艺的参数的办法”的专利，授权公告号CN 113168122 B，请求日期为2019年11月。
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